NCL-MEMS101微电子余氯传感器

余氯电极为克拉克电流型，采用MEMS半导体专利技术，传感器包括一个工作电极，一个反电极和一个参考电极。工作电极上的电流与次氯酸的浓度有关，通过测量工作电极电流即可计算余氯的浓度。本传感器有别于市场其他电极，它采用瑞士制造工艺，以氮化硅覆盖的光聚合物膜和硅晶半导体作为传导元件，内置氯和温度探头，通过MEMS技术将微电子组件进行注塑和封装。